六十三章与SONY谈判前的准备（二）

统工程，高端光刻机集精密光学、机械、控制、材料等先进科技和工程技术于一体，是集成电路装备中技术难度最高、价格最昂贵的关键设备，被称为人类技术发展的制高点和制造工业“皇冠上的明珠”。

    光刻机的水平决定着集成电路的发展水平，它在ic制造设备的价值链中占30%—40%。而光刻机的主要难点聚焦在准分子光源、光学系统和超精密运动高速工作台。犹如世界上没有两片相同的叶子，同样，也没有两台一模一样的光刻机。每台光刻机，都有自己独一无二的“光刻指纹”。杨小乐的最终目的就是要生产完全属于自己的光刻机。

    一台光刻机有上万个零部件要在电脑程序的控制下进行复杂协调的联动，其运动精准程度的误差不得超过一根头发丝的千分之一，这无异于在头发上“绣花”！打个通俗的比喻，就如同坐在一架超音速飞行的飞机上，拿着线头穿进另一架飞行飞机上的针孔。

    而光刻机就好像一个人，一个个子系统就如同人体的各种器官。首先，要有总体框架，每个“器官”大小尺寸必须系统设计，否则五花八门，大小不一，不合规范。其次，即使各个单位制造的“器官”都符合指标要求，但一装到系统就常常出现问题，这里还存在很多复杂因素。其中的集成经验要通过大量的工程演练才能形成。就如同人经常会发烧生病，有先天体质原因，这就是光刻机的性能指标；也有后天因素，这就要靠“医生”也就是集成部门去诊断，技术人员不仅要“验血检查”，还要告诉供应商真正的病根。

    比如说，今天天气和温度变了，空气压力变了，设备的对焦就不准确了。这需要研发部门的人做仿真模拟，研究空气对哪些部件有影响，或许这其中会遇到一个问题，百思不得其解，